产品简介
NE-Q15电感耦合好色先生TV软件清洗机通过RF射频电源在石英腔体内感应诱导气体从而产生好色先生TV软件体。 电感耦合好色先生TV软件体即使在较低气压下也可以拥有较高的好色先生TV软件体密度，可以减小好色先生TV软件体源中的高能离子对基底的轰击。设备采用高纯石英玻璃作为反应腔体，腔体洁净度高，内部无电极，可以避免电极溅射造成的污染问题。
设备用途：1、清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等； 2、活化：亲疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等 ；3、刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等； 4、键合：PDMS等微流控器件键合、晶圆键合前预处理 ；5、去胶：光刻胶灰化、扫底膜；
产品参数
| 型号 | NE-Q15 |
| 好色先生TV软件发生器功率 | 0-500W连续可调 |
| 好色先生TV软件发生器频率 | 射频13.56MHz |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 15L |
| 腔体尺寸 | Φ250×300（D）mm |
| 工艺气体通道 | 2路，氧气、氩气等 |
| 流量计 | 50-500ml/min浮子流量计 |
| 控制方式 | PLC+10寸触摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵（可选） |
| 电源供应 | 220V |
| 外形尺寸 | 755mm(L)×880mm(W) ×1580 mm(H) |
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